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機(jī)械手在零件檢測及半導(dǎo)體中的應(yīng)用

2012
12-17

15:13:20

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372
  機(jī)械手能模仿人手和臂的某些動作功能,用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動操作裝置。是zui早出現(xiàn)的工業(yè)機(jī)器人,也是zui早出現(xiàn)的現(xiàn)代機(jī)器人,它可代替人的繁重勞動以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的機(jī)械化和自動化,能在有害環(huán)境下操作以保護(hù)人身安全,因而廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造、冶金、電子、輕工和原子能等部門。
  
  案例一

  
  在過去的生產(chǎn)中,生產(chǎn)線上有大量的工人在用手?jǐn)[放著零件的位置和方向,以便進(jìn)入下一個工序。但是工人們在這樣的機(jī)械式生產(chǎn)中很容易產(chǎn)生疲勞,以至于出來的產(chǎn)品質(zhì)量摻差不齊,很難達(dá)到客戶的要求。為此廠家提出了要用機(jī)械手來完成這些工作。
  
  技術(shù)要求:在每小時里要擺放完8000個零件,方向誤差±0.1度,位置誤差在±0.01范圍以內(nèi)。對不合格的部件要剔除出來,要有合格產(chǎn)量統(tǒng)計,不合格統(tǒng)計等。
  
  實(shí)現(xiàn)方法:機(jī)械手的檢測和控制構(gòu)成如下:
  
  CCD:sonyxc-es30
  
  鏡頭:pentaxb2514-d
  
  光源:普通照明燈
  
  視覺軟件:創(chuàng)科自動化公司的CKvision軟件包
  
  圖像采集卡:中國臺灣產(chǎn)的PCI2100
  
  運(yùn)動控制卡:ck-1004
  
  I/O卡:創(chuàng)科自動化公司的CK-1230數(shù)字卡
  
  驅(qū)動器:國產(chǎn)
  
  馬達(dá):三洋
  
  其他:多個光電開關(guān)
  
  工作過程:
  
  在零件進(jìn)入CCD的采集范圍內(nèi),CCD將圖像數(shù)據(jù)傳送到計算機(jī),計算機(jī)程序調(diào)用CKvision軟件包的庫函數(shù),首先調(diào)用圖像濾波功能對圖像進(jìn)行低級的處理,把圖像上雜點(diǎn)進(jìn)行過濾,然后調(diào)用輪廓檢測和特征匹配功能找到零件的位置,方向,中心等數(shù)據(jù)。把當(dāng)前的檢測的實(shí)際數(shù)據(jù)和預(yù)制好數(shù)據(jù)進(jìn)行比較計算,并把結(jié)果轉(zhuǎn)換到控制機(jī)械手的運(yùn)動控制卡上。在機(jī)械手完成工作后又回到啟始位置等待下一個零件。
  
  效能:經(jīng)過技術(shù)上的改造,從工廠出來的產(chǎn)品得到了良好的改善,質(zhì)量不再是摻差不齊。數(shù)量和質(zhì)量都得到了保證。
  
      案例二
  
  經(jīng)過光刻的晶圓在檢測后會發(fā)現(xiàn)大量的壞品,壞品通常是打上標(biāo)志,如果是不完整的晶片也是屬于壞品。要求把良品檢測出來,并把它的坐標(biāo)位置與角度傳送給運(yùn)動機(jī)構(gòu),再由機(jī)械結(jié)構(gòu)作出進(jìn)一步的調(diào)整。CCD、鏡頭、光源由固定座固定不需要移動。
  
  實(shí)現(xiàn)方式:
  
  硬件:CCD采用中國臺灣敏通高清晰度相機(jī)
  
  圖像采集卡采用創(chuàng)科視覺的PCI2100圖像采集卡,隨卡帶有圖象定位軟件。
  
  鏡頭使用COMPUTAR鏡頭
  
  光源是環(huán)形紅光
  
  軟件:采用創(chuàng)科視覺公司的ckvision軟件開發(fā)包進(jìn)行二次開發(fā)。
  
  ckvision提供多種功能
  
  條形碼讀出
  
  輪廓識別
  
  普通物體識別
  
  模式匹配
  
  斑點(diǎn)檢測
  
  邊緣檢測
  
  表面分析
  
  快速傅利葉轉(zhuǎn)換
  
  濾波器
  
  坐標(biāo)跟蹤
  
  目標(biāo)定位
  
  條碼識別
  
  各種圖象邏輯運(yùn)算
  
  OCR光學(xué)字符號識別
  
  圖象形態(tài)分析
  
  實(shí)現(xiàn)過程:
  
  因為客戶需要我們提供圖像方面的DLL庫,只需要圖象采集、打開保存、圖象捕捉、顯示圖象、在圖象上顯示用戶設(shè)置的檢測框與十字線、提供灰度直方圖、二值化功能、對象計數(shù)、對象中心和角度的輸出、檢測壞點(diǎn)、檢測是否完整等功能。
  
  開發(fā)工具采用VC6、為了加快運(yùn)行速度嵌入了In匯編指令,為了達(dá)到更好的檢測效果我們對ckvision的工具進(jìn)行了部分修改。
  
  壞點(diǎn)檢測與是否完整檢測使用具有學(xué)習(xí)功能的匹配算法,對象中心與角度的檢測使用了
  
  輪廓識別和邊緣檢測算法。
  
  應(yīng)用效果:目前該圖象庫已經(jīng)得到了多家客戶的使用與測試。功能已經(jīng)得到了完整的改善,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)。
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